- 연구소장
- 산학연관협력위원회
- 운영위원회
- 교육지원실
- 반도체 전문인력 양성 중장기 계획 수립
- 내/외부 교육 계획 수립 및 운영
- 공정 교육
- 소자 제작 교육
- 소자 분석 교육
- TCAD 교육
- 설계 교육
- 장비 운영
- 연구지원실
- 실리콘 기반기술
- 나노기술
- MEMS기술
- 디스플레이기술
- 화합물반도체기술
- 구성된 연구회 조직 및 운영
- 반도체공정연구회
- 반도체소재연구회
- 반도체소자연구회
- 반도체장비연구회
- 시설장비운영실
- 장비의 설치,운영,관리 등 연구지원
- 장비관리에 관한 사항
- 안전교육 등의 반공연 안전관리 사항
- 행정실
- 반도체공동연구소 플랫폼 운영
- 장비 운영
- 행정 실무 수행